MSA-600 显微式激光测振仪

MSA-600是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。

产品特点

集多功能于一体的光学测量工作站

真正的实时测量，无需数据后处理

无与伦比的亚pm位移分辨率

测量速度快，振型可视化显示     

典型应用

· 微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动

如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等

· 微型结构的面内振动

如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动

· 微型结构的表面形貌

如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌